什么是濺射靶材？
2023-11-28
?在濺射靶材的應(yīng)用領(lǐng)域，半導(dǎo)體芯片對濺射靶材的金屬材料純度和內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)設(shè)定了極其苛刻的標(biāo)準(zhǔn)，需要掌握生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵技術(shù)，經(jīng)過長期實踐才能生產(chǎn)出符合工藝要求的產(chǎn)品。因此，半導(dǎo)體芯片對濺射靶材的要求高，價格與半導(dǎo)體芯片相比，飛機(jī)顯示器和太陽能電池對濺射靶材的純度和技術(shù)要求略低，但隨著靶材尺寸的增加，對濺射靶材的焊接結(jié)合率和平整度提出了更高的要求。此外，濺射靶材需要安裝在濺射機(jī)臺內(nèi)完成濺射過程，濺射機(jī)臺專用性強(qiáng)，對濺射靶材的形狀、尺寸和精度也設(shè)定了諸多限制。?
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